圧縮空気とプロセス
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電子機器

各作業現場で使用するフィルトレーション装置の寿命を延長、メンテナンスによるダウンタイムを低減

概要

電子デバイスの小型化のニーズが高まるにつれ、半導体用製品の製造工程において最高純度の圧縮空気、ガス、水を使用するよう要件も高まっています。

半導体用製品の製造では、POUとプロセスツール用の吸気フィルターに加えて、厳しい純度要件を満たすために、バルクガス、空気、水の高精度なフィルトレーションが必要とされます。

ドナルドソンのフィルターは、さまざまな製造ラインの 液体、空気、蒸気の濾過に使用されています。

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製品

圧縮空気・ガス用製品
液体フィルター

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用途

  • 清浄で乾燥した空気
  • バルク水のフィルトレーション
  • バルクガスの精製
  • フォトリソグラフィーとウェハ処理ツール用の空気
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