압축 공기 및 공정
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전자 장치

POU(point-of-use) 필트레이션 장치의 수명 연장 및 유지 관리로 인한 가동 중지 시간 최소화

개요

더 작은 전자 장치에 대한 요구가 늘어나면서 반도체 제조 공정에서 사용되는 압축 공기, 가스 및 물에 대한 최대 순도 요건도 높아지고 있습니다.

반도체 제조에는 공정 툴링을 위한 POU(point-of-use) 및 흡입구 공기 필트레이션 외에도 중요 순도 요구사항을 충족하기 위해 대량 가스, 공기 및 물에 대한 수준 높은 여과가 필요합니다.

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응용 분야

  • 깨끗하고 건조한 공기
  • 대량 물 필트레이션
  • 대량 가스 정화
  • 포토리소그래피 및 웨이퍼 가공 툴링을 위한 흡입구 공기
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